激光器维修保养方法：

1）检查激光头的冷却水管道是否腐蚀。如果有腐蚀，请处理或及时更换管道。

2）检查励磁动力油箱是否泄漏。

3）检查高压电缆是否损坏。

4）检查并清洁激光腔和所有透镜的内部，包括前窗镜，后视镜，反光镜等。

5）清洁激光器的内部透镜后，应重新调整激光器的光输出模式，直到达到正确的模式。

6）更换真空泵油。

7）更换罗茨泵油。

8）仔细拧紧所有螺塞，以确保罗茨泵的气密性。

9）罗茨泵气体出口处的气体歧管上有一个白色塑料塞。清洁插头，并在其内表面涂上硅脂。这种硅脂的目的是吸收和捕获激光循环气体中的物理杂质。 （仅使用不含有机硅的高真空润滑脂，并涂抹非常薄）。

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